集成电路洁净室
洁净室的设计要求介绍:
随着生产对洁净室的需求越来越多,对洁净室装修工程的洁净度要求也越来越高,如何把握好每个施工工序,是能否达到设计要求洁净度的重要因素。能达到多高洁净室洁净度级别也成了衡量一个施工企业能达到多高的施工质量高度的一个因素。
一、洁净室的定义洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排出,并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度及气流分布、噪声、振动、照明及静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。也就是不论外在空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。
二、洁净室的构成洁净室的构成是由下列各项系统所组成,在所组成的系统分子中任何一项都是缺一不可的,否则将无法构成一个完整且品质良好的洁净室:
a、天花系统:包括吊杆、主龙骨、次龙骨、天花板。
b、空调系统:包括空气处理设备、空气输送设备、空气分配设备、冷热控制源、自动调节控制装置等。
c、隔墙:包括窗户、门。
d、地板或地面:包括环氧树脂地面、架空地板等。
e、照明器具。